9月17日，據(jù)《金融時報》援引知情人士透露，中國芯片制造龍頭中芯國際開始測試由上海初創(chuàng)企業(yè)宇量昇研發(fā)的深紫外(DUV)光刻機(jī)。此舉被業(yè)界視為打破海外技術(shù)封鎖、保障AI芯片供應(yīng)鏈安全的戰(zhàn)略性一步，標(biāo)志著中國在攻克“卡脖子”技術(shù)難題上進(jìn)入了實質(zhì)性階段。
DUV光刻機(jī)雖非最頂尖的EUV設(shè)備，但仍是制造7nm及以上制程芯片的主力設(shè)備，涵蓋了目前絕大多數(shù)車用芯片、物聯(lián)網(wǎng)芯片以及人工智能(AI)處理器。?
本次國產(chǎn)設(shè)備的提供方——宇量昇，是一家備受關(guān)注的國資控股高新企業(yè)。公司專注于光刻機(jī)中的關(guān)鍵曝光系統(tǒng)，旨在通過自主研發(fā)來穩(wěn)定國內(nèi)芯片供應(yīng)鏈，減少對阿斯麥(ASML)的依賴。作為國產(chǎn)光刻技術(shù)的“挑戰(zhàn)者”，宇量昇獲得了國內(nèi)多家研究機(jī)構(gòu)與政府的大力支持。?
據(jù)悉，此次測試的DUV光刻機(jī)采用了與ASML系統(tǒng)類似的全浸沒技術(shù)。該設(shè)備大部分零部件為中國國內(nèi)制造，但仍有部分零件是從國外采購，宇量昇正在努力盡快實現(xiàn)所有零部件的國產(chǎn)化。據(jù)報道，中芯國際此次試驗的早期結(jié)果較為樂觀，但目前尚不清楚該機(jī)器是否以及何時能用于大規(guī)模芯片生產(chǎn)。?
長期以來，高端光刻機(jī)技術(shù)被ASML等海外企業(yè)壟斷，對中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展形成制約。此次中芯國際的測試，是中國半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化進(jìn)程中的重要嘗試。?
資本市場對此消息反應(yīng)迅速且熱烈。9月17日，中芯國際A、H 股齊拉升，A股股價一度上漲10%，港股股價也大幅攀升。截止發(fā)稿時，中芯國際股價上漲6.58%，達(dá)到117元高位，顯示出投資者對中芯國際在國產(chǎn)光刻設(shè)備驗證方面的進(jìn)展給予了積極反饋，以及市場對中國半導(dǎo)體自主化前景的信心。?受此影響，光刻機(jī)概念股高開，盤中持續(xù)走強(qiáng)。個股方面，永新光學(xué)、波長光電雙雙漲停，國林科技、蘇大維格、茂萊光學(xué)、新萊應(yīng)材、藍(lán)英裝備等漲幅領(lǐng)先。
SEMI報告顯示，2025 Q2全球半導(dǎo)體設(shè)備出貨金額達(dá)到330.7億美元，同比增長24%。中國大陸銷售額達(dá)113.6億美元，同比下滑2%，環(huán)比增長11%，以約34.4%的份額穩(wěn)居全球第一大半導(dǎo)體設(shè)備市場。而中芯國際作為中國集成電路制造領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，此次對國產(chǎn)DUV光刻機(jī)的測試，不僅關(guān)乎中芯國際自身的技術(shù)升級與產(chǎn)能擴(kuò)充，更有望帶動整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈加速實現(xiàn)國產(chǎn)化替代，推動中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在全球競爭格局中占據(jù)更有利的位置。?
